1. ICP-AES主要用于溶液分析，XRF主要用于固體分析;
2.XRF對(duì)標(biāo)準(zhǔn)匹配的要求非常高，因此標(biāo)準(zhǔn)的配制及標(biāo)準(zhǔn)曲線制作比較麻煩，但一旦制作成功即可長(zhǎng)期使用，而ICP-AES對(duì)對(duì)標(biāo)準(zhǔn)匹配的要求相對(duì)不那么嚴(yán)格，標(biāo)準(zhǔn)的配制及標(biāo)準(zhǔn)曲線制作比較簡(jiǎn)單;
3. XRF是非破壞性分析，ICP-AES則是破壞性分析;
4. ICP-AES分析線性范圍較寬，達(dá)5-6個(gè)數(shù)量級(jí)，可測(cè)定從微量到常量的70多種元素;XRF的分析線性范圍相對(duì)較窄，主要用于分析常量及低量元素;
5. ICP-AES的應(yīng)用面比較廣，XRF的應(yīng)用面不如ICP-AES。
XRF：樣品基本不用前處理;ICP：樣品需要消解為溶液。
XRF：檢出限較高，百分含量級(jí)別;ICP：檢出限低，部分元素PPB。
XRF：范圍F-U;ICP：范圍除了惰性，ONHC。
XRF：標(biāo)樣困難;ICP：標(biāo)樣容易。
XRF：快捷篩選定性;ICP：精確定量。
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