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序
號
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項目名稱
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申請單位
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主要內(nèi)容
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1
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環(huán)保設(shè)施投入項目
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深圳深愛半導(dǎo)體股份有限公司
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投產(chǎn)同時建成一套處理能力為25m³/h廢水處理設(shè)施,一套酸性廢氣處理設(shè)施共三臺,兩用一備,一套有機廢氣處理設(shè)施,共3臺,兩用一備,一套危險廢物處理設(shè)施,包括一臺污泥壓濾機，一間廢液存放間。2011年因公司發(fā)展需要，新建一條MOS生產(chǎn)線，一條測試封裝生產(chǎn)線，同事對廢水、廢氣等環(huán)保設(shè)施進行了擴建。2017-2018年公司對有機廢氣、酸堿廢氣處理設(shè)施進行了升級改造，2018-2019年更新了排放口在線監(jiān)測設(shè)備，2018年更新了MOS車間清洗臺，實現(xiàn)了全自動化清洗，2019年購置一臺空氣能污泥干化機，使污泥含水率從80%降到30%。
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2
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方正微電子環(huán)保污染防治設(shè)施建設(shè)項目
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深圳方正微電子有限公司
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項目建成生產(chǎn)廢水處理設(shè)施一套，處理能力為2200噸/日,生產(chǎn)廢水處理設(shè)施主要包含氫氟酸廢水、酸堿廢水、純水站反沖洗水等處理工藝；建成工業(yè)廢氣處理設(shè)施一套，廢氣設(shè)施處理能力為126000標立方米/小時,工業(yè)廢氣處理設(shè)施含酸堿廢氣\有機廢氣等處理工藝；建成危險廢物收集貯存設(shè)施一套,收集貯存系統(tǒng)主要包含對生產(chǎn)制程所產(chǎn)生的廢硫酸、廢磷酸、廢異丙醇的收集,主要的工藝為通過機臺排液后通過管道排放至收集貯罐,定期由外部危廢處置單位轉(zhuǎn)運處理。
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3
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FAB15廢水處理系統(tǒng)工程項目
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中芯國際集成電路制造(深圳)有限公司
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廢水處理系統(tǒng)主要用于中芯國際集成電路制造（深圳）有限公司生產(chǎn)線產(chǎn)生的廢水，該項目包括酸堿中和處理系統(tǒng)1套、含氟廢水處理系統(tǒng)1套、氨氮廢水處理系統(tǒng)1套、收集系統(tǒng)1套、廢水排放口改造工程1套。
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4
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賽意法環(huán)保治理及監(jiān)控項目
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深圳賽意法微電子有限公司
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項目主要包括廢水處理系統(tǒng)擴容和工藝優(yōu)化，新增廢水處理系統(tǒng)規(guī)模480噸/天;廢氣處理系統(tǒng)擴容和提高處理效率;以及增加廢水廢氣在線的監(jiān)控設(shè)備,提高廢水廢氣的監(jiān)控水平。
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5
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2016 Fab15 (30K-40K)EXH PCW PV主系統(tǒng)擴充工程
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中芯國際集成電路制造(深圳)有限公司
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本項目主要以企業(yè)現(xiàn)有的Fab15生產(chǎn)線為基礎(chǔ),對酸性廢氣與一般廢氣處理系統(tǒng)各增加75000m³/h處理設(shè)備,使廢氣達標排放,包括:6# GEX排風機1套,容量75000m³/h;7# SEX排風機1套,容量75000m³/h(輔助系統(tǒng)洗滌塔1套);3# AEX排風機1套,容量40000m³/h(輔助系統(tǒng)洗滌塔1套);3# VEX排風機1套,容量60000m³/h。
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6
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FAB5 10-30K EXH(制程排氣)主系統(tǒng)擴充安裝工程
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中芯國際集成電路制造(深圳)有限公司
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本項目主要以企業(yè)現(xiàn)有的Fab15生產(chǎn)線為基礎(chǔ),對酸性廢氣與一般廢氣處理系統(tǒng)各增加75000m³/h處理設(shè)備,使廢氣達標排放,包括:4# GEX排風機1套,容量75000m³/h;5# SEX排風機1套,容量75000m³/h(輔助系統(tǒng)洗滌塔1套);4# PCW水泵1套,容量320m³/h;9# 空調(diào)機組MAU1套,容量92000m³/h;5# GEX排風機1套,容量75000m³/h;6# SEX排風機1套,容量75000m³/h(輔助系統(tǒng)洗滌塔1套);5# PCW水泵1套,容量320m³/h。
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